小型真空等離子清洗機具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促進醫(yī)療器械生物相容性。
 

小型真空等離子清洗機產品優(yōu)勢：
 

　●小型等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。

　●直觀的觸摸屏用戶界面，可儲存多條用戶程序，全自動運行

　●8K 鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性

　●可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調諧

　●支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體

　●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。

　●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

　●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。

　●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

　●由于功耗低且無需特殊處理氣體，該裝置是提高表面潤濕性和附著力的非常經濟高效的解決方案。
 

小型真空等離子清洗機用途：
 

　●高分子材料表面改性粘合性、親水性能提高。

　●晶圓光刻膠灰化、剝離和除渣。硅晶片的有機污染物去除

　●用于 PDMS 鍵合、載玻片、芯片實驗室和其他微流體應用的等離子處理

　●材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。

　●材料表面有機污染物去除。

　●清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染

　●增強環(huán)氧樹脂/膠水粘合強度

　●用于清潔光學、激光、通訊用玻璃和光纖頭

　●改善MEMS微流體器件的潤濕性

　●隱形眼鏡、醫(yī)用植入物等類型醫(yī)療器械的表面處理和激活