等離子清洗機(jī)腔體電極結(jié)構(gòu)對清洗效果的影響

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-07-11

等離子清洗技術(shù)在光學(xué)工業(yè)、微電子工業(yè)、汽車工業(yè)、航空航天工業(yè)、高分子工業(yè)和污染防治工業(yè)等諸多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。近年來，如何實現(xiàn)高效環(huán)保的等離子清洗已是等離子清洗設(shè)備研究領(lǐng)域的熱點。

等離子清洗機(jī)清洗效果會因電極布局不同而有著明顯差別，主要影響因素有電極選用材質(zhì)、正負(fù)極板布局和腔體尺寸大小等。對于電極內(nèi)嵌等離子清洗系統(tǒng)，電極完全暴露在等離子體區(qū)內(nèi)，而有些材質(zhì)的電極會被一些等離子體局部刻蝕或產(chǎn)生濺射現(xiàn)象，導(dǎo)致不必要的污染還可能引起電極尺寸的微觀變化，進(jìn)而降低等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。等離子清洗速度和均一性受電極正負(fù)極板布局影響較大，通過縮短電極間距的方式來獲取快速等離子清洗，將其限制等離子體區(qū)域從而得到濃度很高的等離子體。電極間距增加后清洗速度開始下降但均勻性漸漸增強(qiáng)，通常電極尺寸會限制等離子真空腔體的整體容量，在采用平行電極布局的等離子清洗設(shè)備內(nèi)，電極一般是作為料盒托架，大尺寸的電極單次能夠清洗的產(chǎn)品也比較多，可大大提高設(shè)備的運行效率。而在采用垂直電極布局的等離子清洗設(shè)備內(nèi)，電極間距和電極深度約定了真空腔體的整體容量。

而電極本身材質(zhì)也會受到等離子體的影響，應(yīng)當(dāng)通過改變電極間距來適應(yīng)等離子體特性的各種需求，在滿足工藝條件的情況下最大化料盒托盤使用面積。電極板主體由鋁板制作而成，外表作絕緣涂鍍處理，通過鋁板上電極端子與電源正極或負(fù)極接通，電極板可采取平行或垂直方式安裝于真牢反應(yīng)腔體rfl，電極板的極性與電極間距可按照不同應(yīng)用需求進(jìn)行選擇，便于激發(fā)出符合應(yīng)用要求的等離了體，也可以適當(dāng)改變真窄腔體的尺寸來增加料盒托盤的數(shù)量和長寬深等尺寸，提高清洗設(shè)備的利用率。