真空等離子清洗機(jī)不同電極板（陰極陽極）上的清洗效果是否一樣

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2023-06-09

等離子體通常稱作物質(zhì)的第四種狀態(tài)，前三種狀態(tài)是固體、液體、氣體，它們是比較常見的，存在于我們周圍。離子體把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）混合組成。

當(dāng)氣體到達(dá)等離子狀態(tài)時(shí)，氣態(tài)分子會(huì)裂變成許多高度活躍的粒子。等離子清洗的機(jī)理正是依靠處于“等離子態(tài)”的物質(zhì)的“活化作用”，達(dá)到去除物體表面污漬或改善表面活性的目的。

一般的真空等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)如圖1所示。

圖1 真空等離子清洗機(jī)工作原理示意圖

從圖1中可以看出，真空等離子清洗機(jī)主要由真空腔體、高頻等離子電源、真空產(chǎn)生及測量系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空到一定的真空度后，通入工藝氣體，在高頻發(fā)生器作用下，在陽極和陰極之間形成高頻交變電場（常用頻率有2種，即：40kHz、13.56MHz），將氣體進(jìn)行電離，形成等離子體。

等離子清洗機(jī)真空腔極板的設(shè)置具有很強(qiáng)的靈活性，腔體的每個(gè)電極都可以按需配置。將極板后面的連接頭分別連接到陽極座、陰極座或空置，可以將極板分別配置成陽極、陰極或懸浮極，且各個(gè)極板間的距離可以根據(jù)工件大小和功率需要任意調(diào)節(jié)，能滿足多種清洗需求。

等離子清洗機(jī)極板配置根據(jù)被處理樣品放置在極板上位置不同，共有3種清洗模式。因此真空等離子清洗機(jī)不同極板上清洗效果也不一樣。下面將詳細(xì)介紹真空等離子清洗機(jī)不同極板的清洗模式。

懸浮極模式
將樣品放置于懸浮極上，此時(shí)清洗速度最慢，同時(shí)因?yàn)槲丛谌魏坞姌O板上，故對(duì)元器件的損傷也最小，適用于對(duì)易受電子損傷的敏感器件的清洗。
它的極板排列如圖2所示，從上到下分別為陽極—懸浮極—陰極—陽極—懸浮極—陰極，3個(gè)極板為一組

圖2 懸浮極模式

陰極模式
將樣品放置于陰極上，此時(shí)清洗速度較快，同時(shí)因?yàn)槲丛陉帢O板上，陰極板實(shí)際上直接接地，相對(duì)電位較低，故對(duì)元器件的損傷也較小，適用于不易受電子損傷的器件進(jìn)行較強(qiáng)的清洗。
該極板排列如圖3所示，從上到下分別為陽極—陰極—陽極—陰極，2個(gè)極板為1組。

圖3 陰極模式

陽極模式
將樣品放置于陽極上，此時(shí)清洗速度最快，是最具侵蝕性的加工工藝，因?yàn)闃悠肥侵苯又糜陉枠O上，故對(duì)敏感元器件的損傷可能性最大，適用于對(duì)非敏感器件高強(qiáng)度的清洗。
該極板排列如圖4所示，從上到下分別為陰極—陽極—陰極—陽極，2個(gè)極板為1組。