常壓電漿清洗機優(yōu)勢特點介紹
文章出處:本站 | 網站編輯:深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間:2022-07-25
一般電漿清洗機為使電漿穩(wěn)定的產生,系統(tǒng)必須操作在低壓且潔淨的環(huán)境下。因此需要真空腔體和真空泵來維持低壓的環(huán)境,不但成本提高、單位時間處理量大減,且真空泵一般怕強酸、強鹼、也怕微粒,極易受損,需定時停機進行保養(yǎng)。因此若能在常壓下產生穩(wěn)定的電漿就不再需要上述的真空設備,此外裝置簡化,操作及維修費用大大降低,并使其工件可不受真空腔體大小的限制,同時制程容易以連續(xù)式操作,處理量也大幅提昇,是故常壓電漿相較于傳統(tǒng)的低壓電漿,大大拓展了電漿的應用領域。如下圖噴射式電漿清洗機(PlasmaJet)因具有非熱電漿的特性且易整合于制作產線中而備受矚目,電漿清洗機結構如圖所示。而透過常壓電漿清洗機,產生之離子化氣體與所通入之工作氣體有關,當通入空氣時,其電漿解離氣體包含氮離子、氧離子及氮氧根離子等等,亦即解離氣體可因應不同處理條件及目標進行選擇。此外,常壓電漿清洗機在產業(yè)應用上尚具有下述其他優(yōu)點,具有相當?shù)陌l(fā)展?jié)摿Α?/span>
電漿清洗機結構示意圖
常壓電漿清洗機優(yōu)勢:
1. 環(huán)保優(yōu)勢:常壓電漿使用氣體來源自大氣環(huán)境,其表面處理技術且可減少或完全去除程序中化學藥劑之使用量,甚至達到零污染排放的環(huán)境保護目標。
2. 能源節(jié)?。弘娏涬娫垂鬓D換成高電壓傳輸至電漿噴頭,產生的電漿經氣體帶出直接進行材料表面處理,能源使用效率高,過程不須額外加熱或冷卻系統(tǒng)等耗能設備,能節(jié)省大量能源。
3. 簡易操作:常壓電漿系統(tǒng)控制及參數(shù)調整簡易,操作門檻低。
4. 維修簡易:常壓電漿系統(tǒng)以模組化方式組成,維修及替換快速簡易。
5. 設備體積?。撼弘姖{系統(tǒng)僅有電源供應器及電漿槍頭和空壓機部分,無須額外設置冷卻水機或幫浦,使用空間小。
6. 暖機時間短:常壓電漿系統(tǒng)僅需開啟機臺電源,通入反應氣體后即可產生電漿,電漿穩(wěn)定時間僅需數(shù)分鐘,暖機時間相當短。
在特定應用領域中,常壓電漿清洗機的導入可視為新一代的綠色制程,由于其氣體來源來自一般大氣,且電漿處理后能提高親水性及表面能,能大幅降低程序中的藥劑使用量,進而減少額外成本,在全球政府提倡環(huán)保意識下,具有相當?shù)膬?yōu)勢。